净化工程/,空气净化工程,洁净厂房/--空气净化工程专家分享洁净厂房的设计主要特点。 在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流,避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求,当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风方式。无尘车间/净化工程 万级无尘车间洁净室/ 百级无...洁净室维持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染、...可是国内和国外许多国家的有关规范或标准均未规定正压.
净化系统末级过滤器一般采用过滤器或亚过滤器。按我国标准[1]规定过滤器效率分四档:A类为≥99.9%,B类为≥99.9%,C类为≥99.999%,D类为(对≥0.1μ m粒子)≥99.999%(亦称超过滤器);亚过滤器[2]为(对≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率越高,过滤器的价格也越贵。所以选择过滤器时应本着既要满足送风洁净度要求,又要考虑经济合理。从洁净度要求考虑,以低级别洁净室选用低性能过滤器、别洁净室选用高性能过滤器为原则。
洁净室的动线规划
所谓[动线],是指人员、原料之入室路线,与人员与成品的出室路线。规划时,要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染(Cross Contamination)。
要点:
1. 作业者、材料、化学药品等动线勿集中。
2. 制造装置之出入,需不对作业产生大影响。
3. 超洁净室四周,风淋室/宜设缓冲区(即较差洁净区)。
/工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表
| 洁净度 | 洁净度(≥0.5μm,个/ft3) | |||||||||||
| ||||||||||||
| LSI制造工程 | ||||||||||||
| LSI组立检查工程 | ||||||||||||
| (矽)单结晶 | ||||||||||||
| 照像光罩photo mask | | |||||||||||
| 光阻涂膜photoresist | | |||||||||||
| 一般液晶(tn,stn) | ||||||||||||
| 显示用液晶(tft,mim) | ||||||||||||
| 投影用液晶(tft) | ||||||||||||
| 混合(hybrid)IC | ||||||||||||
| 印刷基板材料 | ||||||||||||
| 印刷配线板 | ||||||||||||
| 电晶体、二极体 | ||||||||||||
| 精密电子部品 | ||||||||||||
| 磁头 | ||||||||||||
| 磁碟 | ||||||||||||
| 电脑、磁碟装置组立 | ||||||||||||
| 录影带、光碟 | ||||||||||||
| 照像底片 | ||||||||||||
| 光织 | ||||||||||||
| 精密轴承 | | |||||||||||
| 光学镜片 | ||||||||||||
| 半导体制造装置 | ||||||||||||
| 洁净管及阀类 | ||||||||||||
| LSI制造用化学药品 | ||||||||||||
| 精密测定机制造 | ||||||||||||
| 清洗无压衣 | ||||||||||||
| 印刷、制版 | ||||||||||||
/生物洁净室(BCR)之洁净度与适用和分类表
| 洁净度 产业别 | 洁净度(≥0.5μm,个/ft3) | |||||||||
| ||||||||||
| (医药品) | ||||||||||
| 抗生物质 | ||||||||||
| 注射药 | ||||||||||
| 血清 | ||||||||||
| 药剂包装过程 | ||||||||||
| 医疗用器具 | ||||||||||
| (病院) | ||||||||||
| 无菌手术室 | ||||||||||
| 手术室 | ||||||||||
| 无菌病室 | ||||||||||
| 调剂室 | ||||||||||
| (食品) | ||||||||||
| 牛乳·乳制品 | ||||||||||
| 食肉·食肉加工 | ||||||||||
| 炼乳制品 | ||||||||||
| 清酒·酒类 | ||||||||||
| 糕饼·豆腐 | ||||||||||
| 制果·面包 | ||||||||||
| (动物实验) | ||||||||||
| 饲养区 | ||||||||||
| 隔离区 | ||||||||||
| 其他 | ||||||||||
| 磨茹·菌类培养 | ||||||||||
| 观叶植物培养 | ||||||||||
| 化妆品 | ||||||||||
美国太空署(NASA)之无菌室规范重点(NHB-5340.2)
| 无菌室(BCR)洁净等级 | 微粒子 | 微生物 | ||
| 粒径 | 累积粒子数 个/ft3(个/L) | 浮游量 个/ft3(个/L) | 沈降量 个/ft2(个/M2) | |
| 100 | ≥0.5 | ≤100(≤3.5) | ≤0.1(0.0035) | 1200(12900) |
| 10000 | ≥0.5 | ≤10000(≤350) | ≤0.5(0.0176) | 6000(64600) |
| ≥0.5 | ≤65(≤2.3) | |||
| 100000 | ≥0.5 | ≤100000(≤3500) | ≤2.5(0.0884) | 3000(323000) |
| ≥5.0 | ≤700(≤25) | |||
FS-209E洁净度等级(1992年)
| 粒径大小 | ≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥5μm | ||||||
| 微粒子数 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | 个/M3 | 个/ft3 | |
| S1制级 | 英制级 | ||||||||||
| M1 | 350 | 9.01 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | |||
| M1.5 | 1 | 1240 | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | |||
| M2 | 3500 | 35.0 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | |||
| M2.5 | 10 | 124000 | 2650 | 75.0 | 1060 | 30.0 | 353 | 10.0 | |||
| M3 | 35000 | 99.1 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | |||
| M3.5 | 100 | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | ||||
| M4 | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | |||||
| M4.5 | 1000 | 35300 | 1000 | 247 | 7.00 | ||||||
| M5 | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | |||||||
| M5.5 | 10000 | 353000 | 10000 | 2470 | 70.0 | ||||||
| M6 | 1000000 | 28300 | 6180 | 170 | |||||||
| M6.5 | 100000 | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 | ||||||
| M7 | 10000000 | 283000 | |||||||||
空气净化工程专家分享洁净厂房的设计主要特点
1.结构
为了保证气流几乎不受干扰,就必须进行结构设计,必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。
2.设计方案
要确定设计方案,必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑。初效过滤器/发尘量大的车间不宜采用地面送风形式,洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。
3.材料
作为洁净室顶棚,墙面和地板的材料必须是不宜破裂、不易沾颗粒,以及几乎不起尘的材料,另外根据房间不同的工作条件,还必须考虑材料的化学性能是否稳定。
4.系统
室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。
5.洁净度与换气次数
房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。
6.压力和气流
为了保证房间的洁净度,必须防止外面污染气流进入室内,要达到这个目的,房间里必须保持正压。为了获得所要求的房间压力,必须补充适当的新鲜空气。
7.辅助设备
必要时还得安置一些辅助设备:如新风口的空气指示仪,隔断上的传递窗等。这些设备必须适合房间的要求,并且必须真正了解其功能。
8.人和物的控制
人和物是洁净室的主要尘源,因此必须充分控制,例如:在进入净化房前,所有的人都要经过人净系统,更换无尘衣,并且要接受净化系统功能的基本教育。
9.给排水和送风装置及电源
根据所要运行的车间,提供必须的给排水装置,送风装置和电源,这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计,同时不得有勃于空气净化系统。
10.洁净室的规划 一般性的规划重点
洁净室的整厂规划(Turn Key Projects)(如表3-1),因涉及范围极广,需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划,尽管不少洁净室规划,多需要就于既有的建筑物,然而,为避免失误应尽可能事先确认下列事项:
1. 洁净度等级。
2. 室内气压的平衡。
3. 温湿度要求。
4. 机器设备。
5. 生产流程。
6. 局部排气。
7. 扩建弹性。
8. 足够维护保养空间。
9. 空调送风方式。
10. 员工休息区。
11. 设施与动力的配置。
12. 室内净高与楼板载重。
13. 设备空间与管道间。
14. 门窗宜少,气密性要佳。
15. 静电、振动及噪音。
16. 生产线与活动线少交叉。
17. 公害、污染与防灾。
18. 安装及运转成本。
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